上海勵(lì)兆科技有限公司，是行業(yè)前列的（泛）半導(dǎo)體設(shè)備等離子體源及配套系統(tǒng)的制造商。 勵(lì)兆科技的研發(fā)中心位于上海市閔行區(qū)，辦公及實(shí)驗(yàn)室面積超1000平米，生產(chǎn)制造基地位于上海市臨港新片區(qū)，面積約5000平米。公司致力于等離子體工藝設(shè)備核心部件的研發(fā)、制造和銷售，主要產(chǎn)品包括：射頻電源、自動(dòng)阻抗匹配器、遠(yuǎn)程等離子體源，以及定制化模塊，包括高壓模塊、直流偏壓探測(cè)器、濾波器等，并提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案。 公司專注射頻功率系統(tǒng)應(yīng)用，下游客戶為半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體設(shè)備商和晶圓廠，產(chǎn)品應(yīng)用覆蓋半導(dǎo)體與集成電路、光伏、醫(yī)療、工業(yè)以及科研等領(lǐng)域，為半導(dǎo)體設(shè)備和光伏設(shè)備提供射頻系統(tǒng)產(chǎn)品以及配套的技術(shù)解決方案的同時(shí)，利用研發(fā)、制造與供應(yīng)鏈優(yōu)勢(shì)，不斷開拓其他國(guó)家支持的戰(zhàn)略重點(diǎn)行業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用。 公司核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)由國(guó)內(nèi)具有十多年豐富的射頻電源系統(tǒng)設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)專家組成，核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)成員都具有在中微公司、飛利浦醫(yī)療、萬機(jī)儀器（MKS）、優(yōu)儀半導(dǎo)體（AE）等跨國(guó)公司工作的豐富經(jīng)驗(yàn)。公司科學(xué)家為上海交通大學(xué)電氣工程系副教授/IEEE儲(chǔ)能無線電能分委會(huì)主席，在電力電子領(lǐng)域擁有豐富理論與實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。 勵(lì)兆科技擁有出色的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，完善的設(shè)計(jì)軟件、仿真工具和測(cè)試平臺(tái)，全國(guó)前沿的高頻電力電子技術(shù)、大功率射頻技術(shù)、高速數(shù)字控制技術(shù)，以及等離子體控制技術(shù)。公司的產(chǎn)品具備先進(jìn)的高速控制、高精度、高效率輸出特性，以及高可靠性和穩(wěn)定性，能滿足14nm以及更先進(jìn)的工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)要求。 在集成電路芯片制造設(shè)備中的刻蝕/沉積/清洗等離子設(shè)備中，射頻發(fā)生器及、匹配器和遠(yuǎn)程等離子體源是核心部件，目前國(guó)產(chǎn)設(shè)備完全依賴于進(jìn)口，技術(shù)上被“卡脖子”，國(guó)產(chǎn)化替代迫在眉睫。公司已與國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備公司達(dá)成合作，產(chǎn)品已與國(guó)際先進(jìn)性能一致，在技術(shù)與服務(wù)上形成獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。 勵(lì)兆科技的企業(yè)愿景：以創(chuàng)新的理念研究技術(shù)，用嚴(yán)謹(jǐn)?shù)乃季S設(shè)計(jì)產(chǎn)品，堅(jiān)持用戶至上，嚴(yán)格保證質(zhì)量，力爭(zhēng)成為國(guó)際領(lǐng)先的等離子體設(shè)備核心部件供應(yīng)商。